Емкостной акселерометр схема

емкостной акселерометр схема
Пресловутый плюс-минус тут может исчисляться уже не в сантиметрах, а в десятках метров. И уж точно едва ли кто скажет, сколько секунд было у водителя на выполнение спасительного маневра. Верхняя и нижняя пластины составляют внешние неподвижные электроды датчика. Верхняя и донная подложки представляют собой обкладки конденсаторов, электрически изолированные от средней подложки тонкими слоями стекла. При движении датчика с ускорением, направленным перпендикулярно плоскости пластин, подвижная пластина отклонится в направлении, противоположном ускорению, и произойдет перераспределение расстояний между пластинами. Новые MEMS-акселерометры становятся более «умными», более надежными, компактными и недорогими. Дифференциальный чувствительный элемент имеет верхнюю и нижнюю неподвижные пластины и центральную пластину, закрепленную при помощи упругих элементов.


Датчик представляет собой дифференциальную конденсаторную структуру с воздушным диэлектриком, обкладки которого вырезаны (вытравлены) из плоского куска поликремниевой пленки толщиной 2 мкм. Первым в этом семействе идет ADXL50, серийный выпуск которого был начат в 1991 г. [3] Рис. 5 Весь кристалл акселерометра размером 3,05 3,05 мм занят главным образом схемами формирования сигнала, которые окружают миниатюрный датчик ускорения размером 1ґ1 мм, расположенный в его центре. Когда дистанция между ними уменьшается, емкость увеличивается и электрический ток идет по направлению к сенсору. В случае, когда расстояние увеличивается, наблюдается обратная ситуация: сенсор преобразует ускорение тела в электрический ток, заряд или напряжение. Для дополнительного улучшения работы устройства потребители имеют возможность калибровать датчик в отношении температуры окружающего воздуха с помощью встроенного термодатчика. Объемные емкостные датчики Ранние акселерометры и датчики давления выполнялись на основе объемных кремниевых техник MEMS, с использованием пьезорезисторов, но кремниевые емкостные датчики дали более эффективные результаты в отношении обеспечиваемых ими характеристик. Возможны как единичные поставки образцов, так и комплексные заказы продукции.

Можно добыть информацию, правильно ли спроектирован тот или иной перекресток. Капсулированные микромеханические гироскопы и акселерометры для цифровых систем навигации и управления // Юбилейная XV Санкт-Петербургская международная конференция по интегрированным навигационным системам. Такая технология защиты используется в основном в ноутбуках, нетбуках и на внешних накопителях. При разработке и изготовлении микромеханических акселерометров емкостного типа необходимо проводить контроль их характеристик. Новые интегральные акселерометры, как правило, создаются на одном кристалле. Принцип действия системы гироскопа Описываемые гироскопы обычно являются твердотельными устройствами и не имеют движущихся частей за исключением сенсорного кольца, которое имеет возможность отклоняться.

Похожие записи: